Instrument Database

Electron Microscopy

Auriga 40 Scanning Electron Microscope

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Allgemeine Informationen

  • Untersuchungsgebiete
  • Techniken
    Scanning Electron Microscopy
  • Hersteller
    Zeiss
  • Herstellungsjahr
    2012
  • Gemessene Gr??e
    Dimensions, surface morphology, composition
  • Hauptanwendung
    Microscopy with up to nm resolution, material characterization
  • Korrelierter Arbeitsablauf verfügbar
    Ja

Spezifikationen des Ger?ts

  • Technische Aspkete

    Auriga 40 from Zeiss - FIBSEM - with energy dispersive X-ray spectroscopy (EDS) from Oxford - X-max 150, In-lens-detector for high resolution, energy selective backscatter electron (EsB)-detector for low kV-range, charge compensation (CC), backscatter detector for high kV range

    holders for 4 and 6 inch wafers, 9-stub-holder for 12,5 mm diameter pin stubs, holder for one dove tail stub

  • Korrelierter Arbeitsablauf
    X-ray microscopy (XRM)
  • Weitere Untersuchungsm?glichkeiten
    Lift-out system for TEM lamella preparation

Kontaktperson

Ger?testandort

  • Geb?ude
    NW1
  • Raum
    O0080
  • Fachbereich
    Fachbereich 1
  • Institut Der Universit?t Bremen
    IMSAS
Aktualisiert von: MAPEX